기술지원
나노펩센터설립배경
1997년 KIST 청정연구동을 설립하여
크린룸 및 관련 기본 설비 구축
2000년 과학기술부 프론티어사업인 "지능형 마이크로시스템 개발사업" 출범과 더불어
사업단 운영에 필요한 Fab 공정장비를 단계적 구축하여 Micro/Nano 시스템 연구 인프라 확충
